Pure and Agile

CSK PRODUCTS

Abatement

가스 저감 장치의 선두주자 CSK의 제품들은 낮은 전력 소비와 안전 기능으로 반도체 제조 공정에 맞춤화되어 있습니다.

Two Engineers Working on Abatement

Abatement란 무엇인가요?

Abatement는 반도체 제조 공정에서 발생하는 염산, 유독 가스, 휘발성 용매 등 유해가스를 처리하는 가스 저감 장치입니다. 이 장치는 다양한 공정에 적용될 수 있으며 반도체 제조 현장에서 깨끗하고 안전한 환경을 제공합니다.

CSK Abatement 시스템은 모든 공정 가스에 대응할 수 있는 제품군을 제공하며 최대의 효율과 최소한의 유지보수를 제공합니다. 또한 탄소 배출을 줄이기 위한 전 세계적인 노력과 탄소 중립 글로벌 트렌드에 따라, Abatement와 같은 친환경 솔루션을 통해 기술과 환경이 함께 공존할 수 있는 환경을 만들어 나가고 있습니다.


Burn-Wet Abatement

Burn-Wet abatement 시스템은 연소 과정을 통해 공정 유해가스를 열분해 및 산화 처리하여, 대기 배출 허용 기준치 이하로 배출시키는 장비입니다. 공정에 따라 최적화된 Combustor 제공을 통해 낮은 연료 사용량으로 우수한 유해 공정 가스 배출 저감 능력을 보여주며, 연소 후 발생하는 일산화탄소(CO)와 질소산화물(NOx) 등의 부산물(By-products) 배출도 대폭 감축시킬 수 있는 최신의 Combustor 기술을 제공하고 있습니다. 

또한 Auto-cleaning 사양을 통한 차별화된 MTBS 그리고 검증된 통합 WESP를 통해 오염된 기체 속에 부유하는 고체나 액체 미립자를 효과적으로 제거할 수 있으며 특화된 Flexible swap module design을 통해 제품 유지보수 시, 더욱 안전하고 편리한 운영 안정성을 인정받고 있습니다. 

burn-wet-without background

제품 세부 정보

  Single Dual

Dimension

Width

Depth

Height

 

750cm

995mm

1,950mm

 

1,400mm

995mm

1,950mm

Electricity 208-220VAC, 3ph 50/60Hz 15A 208-220VAC, 3ph 50/60Hz 40A
Max Inlet Gas Flow

300 LPM

300 LPM
Nitrogen Pressure 6-8 kgf/cm2 Pressure 6-8 kgf/cm2
Air or Nitrogen Pressure 5-7 kgf/cm2 Pressure 5-7 kgf/cm2
Acid Exhaust Pressure min. -50mmAq Pressure min. -50mmAq
Cabinet Exhaust Pressure min. -10 mmAq Pressure min. -10 mmAq
Acquired Certification SEMI S2 SEMI S2, NRTL

Dry Abatement

Dry Abatement 시스템은 resin을 이용한 화학적 흡착을 통해 상온에서 유해가스를 처리합니다. 또한 물을 사용하지 않아 유독성 습식 슬러지가 발생하지 않는 친환경 장비이며 다른 방식의 Abatement으로 처리하기에 적합하지 않은 유독가스도 안전하게 처리할 수 있습니다.

CSK의 Dry Abatement 시스템은 공인된 국제 표준을 충족하는 안전한 가스 저감 시스템으로, 디지털 제어를 통해 사용자 편의성과 안전성을 극대화했습니다. 또한 배출가스 감지 시스템(End Point Detector)을 적용하여 레진 교체 주기를 안전하게 관리하며 사용한 resin 교체 시 소형 흡수기를 통해 100% 가동시간을 보장할 수 있는 사용자 친화적인 장비입니다.

Dry abatement-without background

제품 세부 정보

  Single Dual

Dimension

Width

Depth

Height

 

800cm

1,000mm

1,650mm

 

1,300mm

1,000mm

1,700mm

Electricity

208-220VAC, 1ph, 50/60 Hz

1.4 kW (with TMS) / 0.6 kW (without TMS)

208-220VAC, 1ph, 50/60 Hz

2.3 kW (with TMS) / 0.8 kW (without TMS)

Max Inlet Gas Flow

150 LPM for the 095A Column

300 LPM for the 195A Column

150 LPM for the 095A Column
Nitrogen Pressure 6-8 kgf/cm2 Pressure 6-8 kgf/cm2
Air or Nitrogen Pressure 5-7 kgf/cm2 Pressure 5-7 kgf/cm2
Acid Exhaust Pressure min. -50mmAq Pressure min. -50mmAq
Cabinet Exhaust Pressure min. -10 mmAq Pressure min. -10 mmAq
Acquired Certification SE, SEMI & REACH

Plasma Abatement

Plasma-Wet Abatement 시스템은 아크 방전으로 발생한 Thermal plasma를 통해 여러 공정 유해가스, 특히 PFCs 가스를 분해하여 정화하는 장비입니다. 반도체 및 디스플레이 산업이 직면한 탄소 배출감축 도전에 발맞춰 화석연료를 사용하지 않고도 고효율의 공정 유해가스 처리 성능을 보여줄 수 있는 친환경적인 Abatement는 질소(Nitrogen), 공기(Air)와 물(Water)만으로 운영이 가능한 설비로, 전기 용량만 확보되면 낮은 초기 설치 비용으로 운영이 가능합니다.

CSK Plasma-wet abatement 시스템은 단계적인 제품 개선 로드맵에 따라 저전력, 대용량 처리기술을 확보하고 부산물(By-products)에 대한 향상된 배출 저감 성능도 확보해 나가고 있습니다. 또한 유틸리티 사용을 더욱 최적화하여 제품 운영 비용도 줄여 나가는 노력을 기울이고 있습니다. 더불어 SEMI S2, S8, F47, EMC, CE, IPX2 등 공인된 여러 인증 항목 취득을 통해 제품의 안전성을 보증하고 있습니다.

Plasma-wet abatement-without background

제품 세부 정보

  Single

Dimension

Width

Depth

Height

 

800cm

800mm

1,850mm

Power (Max current) AC 208 VAC, 3ph, 60Hz(100A)
PSU (max)

23 kW (water cooling)

Capacity 150 slm (when back-up, max 500 slm)
NPW (non-portable) 1/2", 4~6 kgf/cm2, Flow rate 4~15 slm
PCW (process cooling) 1/2", 2~6 kgf/cm2, 15~25 slm
CDA (reagent, compressed dry) 1/2", 3~6 kgf/cm2, 0~20 slm
Gas Inlet NW 40, 4 ports
Gas Outlet NW 100, 1 port each chamber
Nitrogen 1/2", 3~6 kgf/cm2, 20~45 slm
Drain 16A, PVC
Acquired Certification SEMI S2, SEMI S8 / F47, EMC

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