Pure and Agile

CSK

1997년부터 기술과 환경이 공존하는 세상을 만들고 있습니다.

CSK engineers

Leading Your Successes

CSK는 1997년부터 환경을 생각한 최첨단 가스 저감 시스템을 생산해오고 있습니다.

특히 끊임없는 기술 혁신과 민첩성을 요구하는 지구상에서 가장 역동적이고 변화무쌍한 반도체 산업의 일원으로써, 반도체 제조 및 공정, 에너지와 탄소 배출 절감을 위한 지속가능한 기술 개발에 힘쓰고 있습니다.

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Burn-Wet Abatement

연소 과정을 통해 공정 유해가스를 열분해 및 산화 처리하여 대기 배출 허용 기준치 이하로 배출시키는 장비입니다.

 

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Dry Abatement

Resin을 이용한 화학적 흡착을 통해 상온에서 유해가스를 처리하는 abatement입니다.


 

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Plasma-Wet Abatement

아크 방전으로 발생한 Thermal plasma를 통해 여러 공정의 유해가스, 특히 PFCs 가스를 분해하여 정화하는 장비입니다.
 

Plasma-wet abatement-without background

Liquid Delivery System

고순도 액체 전구체(Precursor)를 안전하고 지속적으로 공급하기 위해 특별히 설계된 제품입니다.

 

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Our Services

CSK는 고객 맞춤형 서비스 솔루션을 제공합니다.