CSK

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Plasma-Wet Abatement System

개선되어진 유지 보수 및 부식방지 기능
순환 시스템 적용으로 물 사용량 절감
부산물 처리 기능 적용
11kW이하의 전기 공급에서의 뛰어난 가동 효과
Semi S2, Semi S8 / F47, EMC 인증

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02 / 04

Burn-Wet
Abatement System

Flexible swappable design으로
서비스 운영성 및 안전성 증가
가스, 연기, 화재, 온도 탐지기 등 다양한 안전 장치 적용
공정의 특성과 고객요구에 맞는 차별화된 MTBS
검증된 통합 WESP를 통한 파우더 배출량 최소화
물 사용량 절감

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03 / 04

Dry Abatement System

가용성 및 유지보수율이 높은 최신식 설계
최대 100% 가동 시간
비상 by-pass를 위한 mini absorber 제공
배출구 가스 탐지기 시스템 장착
사용자 친화적 디지털 터치스크린 제어 장치
SE, SEMI 및 REACH 기준 준수

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04 / 04

Liquid Delivery System (LDS)

화학 물질 이송 및 Line purge 구현에 최적화된
Software 장착을 통한 제품 동작 편리성 제공
모든 OEM장비에 맞춤화 된 인터페이스
Bulk Canister 교체 및 중앙 공급 타입
가스, 연기, 화재, 온도 탐지기 등 다양한 안전 장치 적용 (Optional)
SEMI-S2 및 방폭 인증

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